Search มาตรฐานและกฎระเบียบ

ISO 21859 Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment

ประเทศเกี่ยวข้อง
สหภาพยุโรป,สหรัฐอเมริกา,อื่นๆ
สาขาอุตสาหกรรมสินค้า
อุตสาหกรรมเซรามิก
วันที่บังคับใช้
0000-00-00
มาตรฐานประเภท
สมัครใจ
ขอบข่าย

เซรามิกเนื้อละเอียด (Fine ceramics)

สรุปรายละเอียดสำคัญ

ISO 21859 เซรามิกเนื้อละเอียด (เซรามิกขั้นสูง, เซรามิกขั้นสูงทางเทคนิค) – วิธีทดสอบความต้านทานพลาสม่าของส่วนประกอบเซรามิกในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การสร้างมาตรฐานในด้านวัสดุและผลิตภัณฑ์เซรามิกคุณภาพดีในทุกรูปแบบ: ผง, monoliths, การเคลือบและคอมโพสิต สำหรับการใช้งานเฉพาะด้านรวมถึงเครื่องจักรกล, ความร้อน, เคมี, ไฟฟ้า, แม่เหล็ก, optical และการรวมกัน คำว่า “เซรามิกชั้นดี” ถูกกำหนดให้เป็น “วัสดุวิศวกรรมที่มีประสิทธิภาพสูงและมีประสิทธิภาพสูง ซึ่งไม่ใช่อโลหะส่วนใหญ่เป็นวัสดุอนินทรีย์ที่มีคุณลักษณะเฉพาะด้านการทำงาน”

แหล่งข้อมูล:

https://www.iso.org/committee/54756.html